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发布时间:2023年03月
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学,半导体表征
产品特⾊
• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• 最⼩步伐尺⼨约20 nm
• 最⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感,空间分辨率 100 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中,保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )
• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)
2D ·尺⼨图
Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨
正常版本
.NM
.HV
.UHV
.NM 绝对⽆磁版本;
.HV, ⾼真空版本 ;
.UHV ,超⾼真空版本;
1 运动⽅向
X Y
2 外形尺⼨
250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必须安装空间
325 mm × 250 mm
4 有效穿孔
85 mm × 65 mm
5 主体材料
铝合⾦
6 线缆 & 接头
标准屏蔽线缆
DSub9 接头
kapton漆包线,
PEEK-2mm插针
7 ⼯作温度
10 – 40 °C
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
8 运动⾏程
75 mm × 50 mm
9 最⼤速度
~ 20 mm/s
10 最⼩步伐
~ 30 nm
11 驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
12 最⼤负载
2 kg
13 全⾏程俯仰/偏摆
0.8 mrad
传感精度
14 位置传感类型
- 电阻型传感( .R )
- 光栅尺传感( .O )
15 位置传感量程
- 电阻型传感( .R ), 100-200 nm
- 光栅尺传感( .O ), 10 nm, 1nm可选(默认 10nm)
16 位置传感分辨率
大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY,Carrier.L7550.XY
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