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Hiden PSM是一台结合质量和能量分析的仪器,用于分析等离子体过程中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和能量分布。
PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
特点
·差式泵歧管,通过法兰与过程反应室连接
·电子附着选件,具有可调谐的离子源,用于表观电势MS·Penning规和互锁装置可提供过压保护·信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间·标准分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 离子分析可选
参数
·灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
·质量数范围: 0 ~ 2500amu
·脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
·能量分析选件,标准 ±100eV(1000eV可选 )
·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选, 高压操作可选·通过RS232、RS485或Ethernet LAN ,软件MASsoft 控制
PSM等离子体质量和能量分析质谱仪,PSM
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