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气溶胶发生器ATM241是一种液滴发生器,专门用于产生高浓度的气溶胶,并具有极高的稳定性(VDI-3491)。
主要应用是根据VDI 2083和DIN EN ISO 14644标准在超大型洁净室中生成示踪剂颗粒或验证测试。
带有4个狭缝喷嘴的模块安装在几乎封闭的不锈钢容器中。喷嘴连接外部压缩空气源。操作过程中所有喷嘴必须浸入气溶胶液体中。
图1 雾化气溶胶发生器ATM 241
l ·确定和高度稳定的粒子数浓度
l ·生成的粒度分布高度一致
l ·产生多分散气溶胶,主要是<1μm
l ·通过改变喷嘴压力和连接喷嘴的数量,颗粒产生率可以在很宽的范围内变化
l ·大的洁净室中验证测量
l ·HEPA和ULPA过滤介质的测试
l ·示踪粒子的产生
ATM241系列的主要部件是一种新型喷嘴(专利),可产生非常细的气溶胶。下图显示了这种喷嘴的示意图。从喷嘴排出的气流在进入液体的地方产生负压,从而携带小液滴。当空气穿过液体时,液体就像挡板可以分离较大的颗粒。它们保留在储液器中。
图2 ATM241雾化发生器喷嘴的工作原理
气溶胶发生器的容器包含4个垂直级联狭缝喷嘴,具有相同的间隙。喷嘴与外部压缩空气源相连。喷嘴通过标准快速接头连接到外部压缩空气源。
ATM241喷嘴1连续运行,喷嘴2或3或4可以独立添加。由于这个特性和不同的气压,可以实现宽范围的气溶胶质量流量。ATM241含安全阀,在大约0.012bar压力下释放。
图3 喷嘴压力和喷嘴数量对气溶胶体积流量的影响
粒径(DEHS)
0.1~1um(中值粒径0.1-0.5um)
粒子浓度
>108 P/cm3
质量流量
20~240g/h(DEHS)
气溶胶物质
DEHS,PAO,PSL悬浮液,盐溶液
喷嘴数量
4个,可独立切换
填充量
4.7~8L
喷嘴压力
1~5×105Pa (1~5 bar)
尺寸
480×250×200 mm
重量
6.2kg
ATM241气溶胶发生器,ATM241
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