活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12") 测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) 光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option) 测量速度 1~2 sec./site 应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Wafer Measurement & OLED 选项 Programmable Auto Z Stage 参考样品(K-MAC or KRISS or NIST) 焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附带照明 12v 100W Halogen Lamp
主要特点:
尺寸 500 x 610 x 640 mm 重量 45Kg 类型 手动的 测量样本大小 ≤ 8", 12" 测量方法 无连接的 测量原理 反射计 特点
测量迅速,操作简单 非接触式,非破坏方式 Print Function of Each View & Data Saving