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型号SPY 型号CF 测量原理 激光全息偏振 激光共焦谐振 测量范围Z 1.8—35mm 1mm 工作距离 15—90mm 4mm Z轴分辨率 0.4—4um 100nm(选项50nm) X,Y分辨率 12—35um 1um 测量角度 90°±70° 90°±25°
■粗糙度 ■平面度 波面度 ■2D/3D轮廓 ■单层/多层膜层分析 ■外形形貌 ■平行 共面性 角度 ■几何尺寸 ■磨擦断裂分析 ■光刻腐蚀分析
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