技术指标: 坩埚大小: 0.5cc, 1cc, 2cc, 4cc and 8cc,其它体积定制;各种形状,如锥形、圆柱体、有无空隙等可选 坩埚材质: 氧化铝、氮化硼、氮化铝、石墨、石英等 通常(zei大)沉积速度:1E-3... 5 nm/sec at distance 150 mm,与物料有关 加热系统: 带陶瓷绝热器的钨盘卷丝,zei大8 A / 60 W,与升华器的大小有关 温度范围: 50°C ~ 600°C 温度精度: > 0.1 K depending on the PID controller 热电偶: Type K