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适用于研究开发的小型等离子清洗机。
特点
DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)。
RIE模式。
均匀性高的电极构造。
操作简单的触摸屏控制器。
雅马拓 等离子清洗机 PDC200/210/510,PDC200/210/510
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