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发布时间:2022年04月
极紫外 (EUV) 二向色滤光片
将 EUV 与 NIR 激光源分开
透射型熔融石英设计最大限度地延长组件使用寿命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 应用
极紫外 (EUV) 二向色滤光片,也称为光束分离器,旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率,用于高谐波产生应用。 这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计,支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。 除了产生高次谐波外,这些反射镜还可用于支持 EUV 应用的系统,例如 EUV 光刻、EUV 纳米加工和等离子体实验。
通用规格
产品型号
极紫外 (EUV) 二向色滤光片,#18-279
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