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该系统利用扫描探针显微镜光杠杆位移检测技术和超平整参照面-大型样品台扫描技术,并与压电陶瓷(PZT)扫描完美结合,可以再不丧失精度的情况下,即得到超大样品整体三维轮廓图,又呈现局部三维形貌像。其中样品台扫描参考平面使用超高平坦度光学抛光平台,有效解决了以往样品台扫面,由于丝杠公差引起的测试结果有亚微米量级的误差。 三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。
1、常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 2、双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图 3、针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 4、在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 5、针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zei大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zei小0.1nm ) 6、软件设置恒定微力接触 7、简单的2步关键操作,友好的软件操作界面
接触式三维台阶仪、形貌仪,NanoMap
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