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应用说明
适用于新材料(包括薄膜,纤维,粉末以及高性能复合材料等)的制备,金属制品的表面强化和防腐蚀,纺织品的后整理,高聚物聚合及其表面改性,微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造,纳米材料的制备和器件的开发,高效照明光源和紫外光源的开发,有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。
1、采用井式高温管道式腔体结构,密封盖体可以自动升降,取放物料更方便
2、密封盖体上设置4路气氛结构,2路喷雾接口,设置旋转电机,驱动内置托架和物料
3、设置防漏波监视口,
(1)平常状态下LED灯观察内部物料情况
(2)等离子激发状态,观察内部等离子体反应情况
4、采用PLC程序控制模式,具有更智能的工艺控制模式。
微波等离子体炉 MKP-T4UA,MKP-T4UA
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