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LEICA BAL-TEC EMSCD500 高真空镀膜仪具备多种镀膜功能,如金属溅射镀膜/ 金属热阻蒸发镀膜/ 碳棒热阻蒸发镀膜/碳丝热阻蒸发镀膜 等。。。。。 , 能满足高分辨率FE-SEM的镀膜要求。 通过金属溅射和蒸发方式,可对样品表面进行均匀的金属镀膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察;通过碳棒蒸发镀膜,可对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察及能谱/波谱分析,或者为铜网表面覆碳支持膜。 镀膜功能:金属溅射镀膜/ 金属热阻蒸发镀膜/ 碳棒热阻蒸发镀膜/碳丝热阻蒸发镀膜 具有氩气冲洗功能 内置有高电压蚀刻/清洁功能 带有预溅射遮挡 具有膜厚监控器,可精确控制膜厚,可根据设定的喷金和喷碳镀膜厚度/镀膜时间反控主机
内置的隔膜泵和涡轮分子筛泵系统提供真空无油的制样环境 操控简单容易 可以选用各种金属标靶 可扩充冷冻应用,兼容VT100真空冷冻传送系统
高真空多功能镀膜仪SCD500,Leica EM SCD500
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