您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
kSA BandiT是一种非接触、实时谱带吸收式半导体晶片温度传感器。它采用谱带随温度变化的半导体材料,可以监测高温计所不能测量的晶片温度。
kSA BandiT成功地为MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上安装了高精度、多晶片的温度图像系统。通过利用kSA BandiT温度监控系统以及复杂的循环同步技术,这种新的方案能实时提供MBE生长过程中所有晶片的温度分布全图。 zei新的kSA BandiT多晶片温度监控软件结合了自动伺服马达控制的扫描检测功能,从而为获得晶片和压台全面的实时温度提供了强大的技术保证。 该系统是唯一一种能给生长过程中晶片提供实时的二维温度信息。对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵、zei直接的绝对检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边沿(谱带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更为准确;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。
zei大温度范围:室温~1300摄氏度;
温度重复性:0.2摄氏度;
温度分辨率:0.1摄氏度;
稳定性:+/-0.2摄氏度;
*实时、非接触、非入侵、直接的绝对Wafer温度精确监测;
*多基片/晶片表面2D温度Mapping监测;
*zei真实的Wafer表面或薄膜温度监测;
*整合了zei新的黑体辐射监测技术;
*沉积速率和薄膜厚度分析;
*表面粗糙度分析功能;
*测量激光波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)
*避免了发射率变化对测量的影响;
*无需沉积设备Viewport特殊涂层;
实时温度测试仪,kSA BandiT
实时温度测试仪信息由巨力科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于实时温度测试仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
Orion Star A 便携式高端溶解氧测量仪
独立三槽-biometra TProfessional Trio 热循环仪
岩心/土壤高光谱成像仪
奥豪斯 SC310 pH电极
透射电镜(TEM)用氮化硅薄膜窗口
激光单粒子效应模拟测量系统
超低温高效节能冰箱U410-HEF, U570-HEF, C660-HEF & U725-G
856电导率仪
群组论坛--现代分析实验
您可能要找:镀膜机实时温度测试仪价格kSA BandiT镀膜机参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号