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用途:光刻工艺后段,光刻胶固化特点•最高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。•程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。•快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。•配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。•全不锈钢材质。•在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。技术规格
型号
洁净厌氧高温气氛炉 C1-008
温度范围
室温+30~360℃
室温+50~500℃
温度分布精度
±4.0℃(at 360℃)
±8.0℃(a500℃)
温度上升时间
60min(室温→360℃)
90min(室温→500℃)
温度下降时间
90min(360℃→50℃)
120min(500℃→50℃)
氧浓度
20ppm以下
氧浓度下降时间
约45分钟
洁净度
100级
装备
氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸
W600×D600×H600mm
电源
3相 AC380V
YAMATO雅马拓洁净厌氧高温气氛炉 C1-008, C1-008
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