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PHI nanoTOF II飞行时间质谱仪™
TRIFT-V nanoTOF II(三次聚集飞行时间)二次离子质谱仪是超灵敏的表面分析技术,可检测表面分子成分和分布,元素及其同位素。所有元素和同位素,包括氢都可以用飞行时间二次离子质谱分析。由初级脉冲离子束轰击样品表面所产生的二次离子,经飞行时间分析器分析二次离子的荷质比,从而得知样品表面信息。
PHI nanoTOF IITM是第五代SIMS仪器,该仪器具有独特的专利飞行时间(TOF)分析仪,它拥有市场上TOF-SIMS仪器中最大的角度和能量接收范围,它使用了具有优良离子传输能力的三级聚焦半球形静电分析器,实现了高空间分辨率和质量分辨率。PHI nanoTOF IITM还具有很高的成像能力,可以表征形貌复杂的样品而没有阴影效应。
特点:立体收集角度大和深景深
二次离子以不同的初始能量和角度
从样品表面飞出,因此,即使是质量
完全相同的离子,在分析仪内的飞行
时间也会产生差异,飞行时间差是导
致质量分辨率变差的原因之一。
NanoTOFⅡ采用的是三重聚焦静电分
析仪(TRIFT型),可以同时矫正由初
始能量和发射角的差异而发生的飞行
时间差异而发生的飞行时间差。
TRIFT型分析仪的最大的优势,就是同时实现了高质量分辨率和高检测灵敏度,并且成像没有阴影。
图2(a)不同飞出角度的二次离子飞行轨迹示意图
2(b) 断裂陶瓷截面示意图及二次离子分布图
同时实现高空间及高能量分辨模式:nanoTOF Ⅱ安装了新开发的离子枪(对应的源为Bi,Au,Ga),空间分辨率最小能达到70纳米(Bi3++)。此外,在新设计的脉冲压缩(Bunched)机理下,可采用高质量分辨率模式,实现500纳米或以下(Bi3++)的空间分辨率,其增加了三倍以上的电流密度,同时提高了灵敏度,空间分辨率和质量分辨率。
图-3 b)旧型号仪器像
图-3 c)nanoTOF II成像
视野范围最小可至5微米:下图显示的是在较高的空间分辨率下,PS/PMMA聚合物的成像。传统上来说,聚合物的分子分布结构,只能用AFM观察,但在这里,nanoTOF II也能做到。
PHI nanoTOF II飞行时间二次离子质谱仪, PHI nanoTOF II
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