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AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100
Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150
Small substrates using susceptors
高温配置:最高达到1450°C
标准配置:热电偶和高温计用来测量温度
快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制
全PC电脑控制,每个配方最多100步骤
全数据记录与处理历史的人机界面设计
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件
● 快速热退火
● 快速热氧化
● 扩散/接触时退火
● 化合物退火
● 结晶或致密化
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快速退火炉, AS-One systems
快速退火炉信息由德国韦氏纳米系统German First-Nano System为您提供,如您想了解更多关于快速退火炉报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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