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Model 235--500mm焦距真空紫外光谱仪
主要特点:
>500mm焦距长度高分辨率谱仪
>不锈钢内部焊接,保证稳定性及高真空度
>Seya-Namioka结构,波段最短可达30nm
主要技术参数
波长范围
<30nm-300nm*
光学结构
Seya-Namioka
真空度支持
10-6Torr,或10-10Torr
焦距长度
500mm
分辨率,半高宽
0.05nm*
色散
1.66nm每毫米
校准精度
0.1nm
重复性
0.005nm
步距
0.0002nm
焦平面尺寸
25mm
数值孔径
f/11.4
光栅尺寸
30*50mm 凹面光栅
杂散光抑制比
10-5
充氮气
可选
可选探测器
CCD、MCP或单点探测器
狭缝
10um-3mm连续可调,高度2-20mm可调,手动或电动可选
*以上参数均为1200g/mm光栅参数
不同光栅主要参数
光栅密度(g/mm)
3600
2400
1800
1200
600
300
分辨率**
0.02
0.03
0.035
0.05
0.1
0.2
色散(nm/mm)
0.55
0.8
1.1
1.6
3.2
6.4
波长范围30nm至
100nm
150nm
200nm
300nm
600nm
1.2um
**分辨率测试条件:10um狭缝宽度,2mm狭缝宽度,184.9nm
Model 235--500mm焦距真空紫外光谱仪, 235
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