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用途D07量热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。
特点1、高精度,快响应型;2、橡胶密封、模拟电路的 MFC;3、采用 DB15 型电插头,国际标准机械接头;4、国际兼容。
应用领域
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
核心技术参数
项 目
D07-19B
D07-19C
D07-19CM
流量规格
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20) SLM
准确度
±1 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.)
线性
±0.5 % F.S. (20SLM: ±2 % F.S.)
重复精度
±0.2 % F.S.
响应时间
≤2 sec
≤1.5 sec
工作压差范围
≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa >10SLM: 0.1~ 0.3 MPa
<0.02MPa
耐压
3 MPa
10 MPa
温度系数
Zero:≤±0.05% F.S./℃;Span:≤±0.1% F.S./℃
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
输入信号
0 V ~ +5.00 V
--
输出信号
电插头形式
DB15 pin(Male)
电源
+15 V 50 mA -15V 200 mA
+15 V 50 mA
-15V 50 mA
抗电磁干扰
CE
外形尺寸
见图
重量
0.95 kg
1.2 kg
1.0kg
七星华创D07-19B质量流量控制器, D07-19B/D07-19BM
七星华创D07-19B质量流量控制器信息由北京中科洁创能源技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于七星华创D07-19B质量流量控制器报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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