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SID4 UV-HR(紫外光)
基于相位的专利技术, 在190纳米到400纳米波段,SID4 UV-HR波前分析仪(在紫外光谱范围内)具有超高的分辨率(250 x250)和极高的灵敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是完全适应光学组件描述(用于光刻、半导体)和表面检测(镜头,晶片……)
主要特点
.超高分辨率 250×250
.高灵敏度 0.5nm RMS
.大型分析孔 8.0×8.0mm
.可以直接对光学器件表面进行测量
推荐用途
.紫外激光器:光束的测量和校正
.光学:紫外线光学(半导体)测试和表面测量。
SID4 UV-HR的详细规格
SID4 UV-HR
单位
数据
波长范围
nm
190-400
框口尺寸
mm^2
8.0*8.0
空间解析度
Um
32
相位和强度抽样
250*250
分辨率
nmRMS
0.5
精密度
10
采集率
fps
>30
实时处理频率
1
尺寸(w*h*l)
mm
95*105*84
重量
g
900
Phasics SID4 UV波前测试仪, SID4 UV-HR
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高灵敏度等离子体分析仪 光学仪器组件
定量位相成像SID4 Element
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