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Axetris热式气体质量流量计/控制器: Axetris MFM/MFC 2000系列适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器; 从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器,到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组,Axetris最新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。技术优点:
基于MEMS技术
极其紧凑的尺寸
高精度
快速响应时间
多种气体/多量程
模块化
极佳的长期稳定性
主要应用:
分析仪器
气相色谱仪
泄漏检测
单一或者多种气体的计量和控制
标定和质量控制
薄膜工艺控制
热式气体质量流量控制器, MFY 21000
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