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FJ-80型分子泵机组
产品特点:
性能优异:系统抽速高、极限真空好,可通入大流量工艺气体
环境清洁:提供无油真空环境,油泵系统可有效防止油污染
使用便捷:便于移动,一键延时启动,启动时间连续可调,接口丰富
应用广泛:实验室科研、质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等
主要配置:
型号
组成
FJ-80
分子泵
FF-63/80
机械泵
干式隔膜泵
油封旋片泵
DIVAC 0.8T
GHD-031B
过渡腔
DN63转CF35/KF40/KF16(可定制)
技术指标:
N2: 1E9 He: 1E5
H2:1E4 Ar:1E9
FJ-80型分子泵机组, FJ-80
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