内尺寸: 850 x 1460 x 1350mm 材料: 铝 壁厚: 30 mm. 舱门: 带有视窗的滑动门 电极: 5套水冷电极(900 (H) mm) 等离子区: 总计 4500 mm. 卷轴式载料系统: 外径: 200 mm;内径: 70 mm;卷宽:1100 mm 处理速度: 每分钟0.1-10米
抽真空系统
内置干式真空泵组,抽速:1000m3 /小时,免维护
频射发生器
0~5000w可调;KHZ发生器
控制系统
彩色触摸屏操作,PLC控制系统 PLC可实现下列功能: l 自动控制反应过程; l 根据处理材料设定不同的处理工艺流程; l 设置处理速度(Roll-to-Roll ) l 核查舱体内压力、抽真空时间、气体流量、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标; l 监测所有的运行指标,保证在设定范围之内; l 设定操作、维护密码。