德国Phystech深能级瞬态谱仪FT1230特点 l 自动接触检查 l 常规测试和加强软件 l 自动电容补偿 l 三终端FET电流瞬态测量 l 大电容和浓度范围 l 灵活性高、模块化硬件 l 支持各种冷却仓和温度控制器 l 傅里叶转换(F-DLTS),比例窗口和用户自定义校正功能 l DLTFS(深层瞬态傅里叶光谱仪)评价
德国Phystech深能级瞬态谱仪FT1230操作模式 l C-DLTS(电容模式) l CC-DLTS(定电容模式) l I-DLTS(电流模式) l DD-DLTS(双关联模式) l Zerbst-DLTS l O-DLTS(光激发模式) l FET-Analysis l MOS-Analysis l ITS(等温瞬态光谱仪) l 缺陷分析 l 俘获截面测量 l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析 l C/V, C/V(T) l TSC/TSCAP l PITS(光子诱导瞬态谱) l DLOS(特殊系统)