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OTF-1200X-III-VT是一款三温区的立式管式炉,最高温度可达到1200℃。此款管式炉不仅可在真空或气氛保护环境下对样品进行快速地热处理和淬火,同时也可用PVD、CSS和CVD方法来制作薄膜。三个温区分别由三个独立的温控系统来控制,每个温区可设置30段升降温程序,其控温精度为+/-1℃,炉体下端安装有一移动炉架,以便于设备移动。
技术参数
炉体结构
采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得炉体表面温度小于<60℃
采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层(可提高加热效率和延长炉膛使用寿命)
炉体下端安装有一移动炉架,以便于设备移动(点击图片查看详细资料)
最大功率
4.8KW(需要30A的空气开关)
工作电压
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
最高工作温度
1200℃(<1 hr)
连续工作温度
1100℃
最高加热速率
≤20℃
控温精度
±1℃
炉管尺寸和材料
高纯石英管
尺寸:OD50mm×ID44mm×L1200mm OD60mm×ID54mm×L1200mm OD80mm×ID74mm×L1200mm
加热区长度
顶部加热区:135mm
中间加热区: 260mm
底部加热区:135mm
总温区长度:530mm
恒温区长度
400mm(+/-1°C),三个温区设置同样的温度
温控系统
三个温区分别有三个独立的温控系统控制
采用PID方式调节温度,都可设置30段升降温程序
设有超温和段偶(热电偶)保护系统
可选购控温模块,可实现用电脑设置和显示温度程序
控温仪表操作视频
热电偶
采用K型omega铠装热电偶
密封法兰
配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有机械压力表和不锈钢截止阀
真空度
10E-2 Torr (用机械泵)
10E-5 Torr (用分子泵)
加热元件
掺钼铁铬铝合金(表面涂有氧化锆涂层,可延长其使用寿命)
设备尺寸
700mm(L) x 700mm(W) x 1680mm(H)
质量
约115KG
1200℃三温区管式炉--OTF-1200X-VT, OTF-1200X-III-VT
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