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产品名称:
Si上镀Ge薄膜(进口?Ge?epi-film?on?N-type?Silicon?Wafer,?0.5?um?thickness?)
技术参数:
Si基片参数:N型掺P; dia 4inch x 0.5mm-0.55mm
Si晶向:<100> with flats 2 SEMI-STD on Axis 0 degree offSi
电阻率:1-10ohm.cmParticles:< 50 @ >0.20 um
Ge薄膜参数:0.5 um +/- 3%;<100>;N型;P型掺杂浓度:(1-5)E19 /ccCurrent
RMS spec:表面粗糙度 < 2 nm
产品尺寸:
dia4 inch or 10x10mm
标准包装:
1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒
Si上镀Ge薄膜, Si上镀Ge薄膜
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