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产品名称:
ALN单晶(进口)
技术参数:
晶向:<0001>±1°
尺寸:9.9x9.9x0.5±0.05mm
吸收系数:Absorption coefficient< 80 cm-1Etch pit density
(EPD):< 1E5 cm-2
可用面积Usable area:> 80 %
边缘排除edge exclusion:1.0 mm
表面粗糙度:Al 面: CMP polish (RMS < 0.8 nm), N 面: optical polish (RMS < 3 nm)
位错密度dislocation density:< 1E5 cm-2XRD
摇摆曲线图(spot size 10 x 1 mm2):FWHM (002): < 0.3°,FWHM (102)< 0.5°
产品规格:
9.9x9.9x0.5±0.05mm
标准包装:
1000级超净室100级超净袋真空包装盒
进口AlN单晶,进口AlN单晶
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