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产品名称:
Si上镀Al薄膜(Aluminum?Film?on?Silicon?Wafer)
常规尺寸:
dia 4" ±0.5 mm x 0.525 ±0.025 mm
技术参数:
Al薄膜厚度:3um
薄膜电阻率:2.65 micro ohm-cm
薄膜结晶:Weak (111) - oriented poly-crystals
薄膜表面粗糙度:4.87 nm and < 10 nmSi
导电类型:N型Si
电阻率:<0.005?ohm-cm?;1-10ohm-cm?
Si晶向:<100>±0.5°抛光情况:单抛
标准包装:
1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装
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