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PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机,其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片,为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶,改善表面润湿性,清洗SEM &TEM,紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段,特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧,254nm可以破坏化合物中的键(特别是碳碳键)。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
技术参数
电源
AC 208~240V,单相 50/60Hz
紫外灯
可发出双波长的水银灯
功率:55W
发出光的波长:254 nm 和 185 nm
使用寿命:2500 小时(可在本公司购买紫外灯来更换)
照射区域:200 x 200 mm
腔体&样品台
不锈钢壳体
抽屉式样品台,以便放样取样
样品台面积310 mm x 320 mm
臭氧通风装置安装在腔体上
样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)
样品台可以加热,最高温度可达150℃
可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃
设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时
排气口
直径为80mm的排气口安装在仪器后端
请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外
仪器中不包含橡胶管
外形尺寸
510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
净重
28kg
质保期
一年质保期,终生维护(不包含紫外灯)
应用
去除分子级别的污染物
紫外光固化粘合剂
紫外光催化
氧化PDMS
表面消毒
刻蚀
清洗MEMS 器件
清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
加热型紫外臭氧清洗机, PCE-22
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