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AL120-12显微镜兼容300mm晶圆小铲车和显微镜系统 Easy operation
操作简单
AL120-12强调可用性,包括完全定制的检查模式和设备设计,考虑到可操作性,定制后端流程专用。
•AL120-12还为您提供了专属于FOSB的系统。
*高的系统可靠性和继承的系统性能
AL120-12允许对300毫米晶圆片进行安全和自动化的微检测,保持了AL110系列产品的高可靠性和安全性。
AL120-12采用奥林巴斯安全可靠的操作系统,可以实现翘翘的晶圆片和超薄的晶圆片之间的转换。
•AL120-12为您提供了易于操作和高可视性,优化的宏观检查位置和友好的控制面板。
专用微距照明装置(可选)
•用户可以选择宏观照明提供*佳照明,检查粒子,划痕,薄膜波动和散焦。
•高强度金属卤化物光源和光纤的组合,可用于300毫米晶圆片全表面的冷光源照明。
• The combination of a high-intensity metal halide light source and fiber optics allows illumination of a full-surface of 300 mm wafer with cold-light illumination.
AL120-12,AL120-12
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