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特色高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
*:
选配附件
规格
高分辨率顶位二次电子探测器*1
高灵敏度低真空探测器 (UVD)
5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
能谱仪 (EDS)
波谱仪 (WDS)
背散射电子衍射探测器 (EBSD)
*1:
减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:
低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:
空压机(本地采购)
应用案例
样品: 氧化锌粉末着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x低电压下顶位二次电子探测器成像
样品: PTFE加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000xUVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空(40 Pa) 下获得高质量图像
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