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采用磁控型电极,最大限度地减轻对样品的损坏。特色
采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
可处理较厚或较大的样品(选配件)
记忆功能可存储常用加工条件
规格
离子溅射仪 MC1000,MC1000
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