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LEXT® OLS5000激光扫描显微镜:基本原理
配置:
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成 像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信 息和高分辨率图像。
[ 获取彩色信息 ] 彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信 息。
[ 获取 3D高度信息和高分辨率共焦图像 ] 激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍 增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。
405纳米激光光源:
光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜 具有更优的横向分辨率。OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。
激光共焦光学系统:
激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得 比普通显微镜对比度更高的图像。
高度测量原理:
在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。 根据非连续的焦点位置( Z)和检测光强度( I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所 有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对 样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。
3D测量激光显微镜,OLS5000
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