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型桌上型高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。
■ 规格
型号
PDC200
方式
RIE模式、平行平板腔体
性能
发生器功率:
0-300W
发生器频率:
射频RF13.56Mhz
发生器匹配方式:
自动匹配(Auto matching)
构成
腔体材质:
铝制
腔体内尺寸:
W400×D250×H150mm
反应气体:
二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。
控制方式:
全自动控制
真空度显示:
数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。
配管材质:
SUS不锈钢以及特氟龙
门:
铰链门
外形尺寸:
W540×D600×H600mm
真空泵抽速:
4m3/hour
电源规格:
AC220V 10A
重量:
约100kg
YAMATO等离子清洗机PDC200, PDC200
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