您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
● 最高工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固
化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。
安全性
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。
规格:
型号
DTN430C
DTN630C
DTN450C
DTN650C
方式
氮气置换+ 强制送风循环
性能
使用温度范围
室温+50~360℃
室温+50~500℃
温度调节精度
±0.5℃(at360℃)
±1.0℃(at500℃)
温度分布精度
±5.0℃(at360℃)
±8.0℃(at500℃)
最高温度到达时间
约80分钟
约110分钟
氧浓度
20ppm 以下
氧浓度到达时间
≤ 20分(250L/min 氮气)
≤ 25分(250L/min 氮气)
洁净度
温度恒定时100级
构成
内装
不锈钢板
外装
冷轧钢板,表面耐药品性涂装
断热材
硅酸铝棉
加热方式
不锈钢加热管
加热功率
主加热器
6.75KW
9KW
9.5KW
14.2KW
N2预热
1KW
冷却机构
不锈钢冷却水换热器
HEPA过滤器
集尘效率:0.3um粒子99.97%以上
控制器
温度控制方式
PID控制
温度控制器
液晶触摸屏+PLC
运行功能
手动定值运行、自动程序运行
程序模式
程序运行9个,每个程序可设置9步(可扩展)
附加功能
操作员等级认证
加热器回路控制
SSR驱动
传感器
K型热电偶(温度控制及过升防止器)
安全装置
门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、
风机过载检测、过电流漏电保护开关等
规格
内尺寸(宽×深×高mm)
450×450×450
660×500×660
外形尺寸(宽×深×高mm)
1090×950×1540
1300×1000×1750
1240×1010×1750
1450×1060×1960
内容积
91L
216L
棚板层数/层间距
12层/30mm
19层/30mm
排气口
40KF法兰
氮气入口
Rc1/2
冷却水入口
Rc3/4
热水出口
Rc3/4,2个
电源(50/60Hz)额定电流
3相AC380V 16A
3相AC380V 19A
3相AC380V 20A
3相AC380V 27A
重量
约900kg
约1100kg
选购品
棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
洁净厌氧高温气氛炉DTN430C, DTN430C
洁净厌氧高温气氛炉DTN430C信息由浚和(上海)仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于洁净厌氧高温气氛炉DTN430C报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
Yamato立式压力蒸汽灭菌器
YAMATO雅马拓真空干燥箱C2-004
雅马拓喷雾干燥仪ADL-311-A
日本雅马拓进口立式压力蒸汽灭菌器
群组论坛--样品前处理
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号