另外,由于具有所有无损技术中最高的热灵敏度,ELITE 系统能够检测最具挑战性的缺陷,无需开封检查或从封装中取出芯片,甚至无需对 IC 器件进行剥层,因而消除了使用有损方法时意外遗漏故障的风险。
此外,ELITE 系统可与其他无损技术(例如扫描声学显微镜 (SAM) 或二维和三维 X 射线技术)相结合,通过传递故障位置的精确 x、 y 和 z 坐标,加快获得结果的速度并提高成功率,从而在需要深度信息或存在微小特征时显著缩小 X 射线和 SAM 的搜索半径并缩短检查时间。ELITE 系统还提供配备固体浸没透镜 (SIL) 和 S-LSM 选项的高分辨率光学器件,可实现最高水平的分辨率和图像质量。