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空气轴承位移平台
可根据客户要求定制不同类型的位移平台
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案:
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
?整体解决方案
?定制化解决方案
?复杂的多轴与并联运动系统
?超精密空气与机械轴承
?软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点:
l 优异的重复精度
l 超大行程
l 采用空气轴承,无需维护
l 可按客户要求进行定制
主要应用
l 高性能扫描
l 光学检测系统
l 超精密研磨和切削
l 光伏系统
l 医疗系统
l 同步辐射或X射线
l 激光加工
l 半导体行业
l 晶体处理
产品参数:
Units
LS100
LS200
LS300
LS400
LS500
LS1000
LS1500
travel
mm
100
200
300
400
500
1000
1500
load capacity
kg
>65
accuracy
μm
±0.3
±0.5
±1.0
repeatability
±0.1
±0.15
±0.2
±0.4
flatness
±1
±1.5
±3
±5
pitch
μrad
±4
±8
±12
±13
±14
±29
±39
roll
yaw
可定制气体轴承线性位移台,LT
可定制气体轴承线性位移台信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于可定制气体轴承线性位移台报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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