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1.即放即测! 2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量! 3.可无标样测量! 4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!
[SFT-110的主要特征] 1. 通过自动定位功能提高操作性 测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。 2. 微区膜厚测量精度提高 通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。 3. 多达5层的多镀层测量 使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。 4. 广域观察系统(选配) 可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。 5. 对应大型印刷线路板(选配) 可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。 6. 低价位 与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
[主要产品规格]
检测器
比例计数管
X射线源
空冷式小型X射线管
准直器
0.1、0.2mmφ2种
样品观察
CCD摄像头
样品台移动量
样品最大高度
150mm
X射线荧光镀层厚度测量仪STF-110, STF-110
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