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RGA系列残余气体分析仪
可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。
RGA系列残余气体分析仪特点
◇100,200,和300amu ◇优于1amu的分辨率◇6个量级的动态范围 ◇可检测5 x 10-14Torr
◇实时RGA Windows和LabVIEW软件 ◇质谱,泄漏检测和压力对时间方式 ◇现场可更换的电子倍增器和灯丝 ◇RS232计算机接口
RGA系列残余气体分析仪选型表
残余气体分析仪(RGA)划分为100、200、300amu三种型号,其优异的性能使其成为真空分析仪中领先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成,实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析,并可进行远程控制。
探测器类型 标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)分辨率 优于0.5amu灵敏度(A/Torr) 2 × 10?4 (FC), <200 (EM).探测极限 5 × 10?11 Torr (FC), 5 × 10?14 Torr (EM)测试范围 10?4 Torr to UHV (FC) 10?6 Torr to UHV (EM)操作温度 70 °C (max.)工作温度 300 °C (without ECU)
RGA系列残余气体分析仪,RGA
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