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基于圆柱面的白光干涉仪大型快速的3D白光干涉测量使用高精度的压电马达全电动系统可用于直径从70mm的不同气缸使用MountainsMap影像地形分析数据
可选:标准化工作的特殊评测
SmartWLI-cylcheck参数
探测器
摄像头传感器: CCD GigE 1388x1038 Pixel, 17 fps光源: 白光LED系统组件深层定位: 电动可调节到200 mmX-Y定位: 圆柱直径为电动调节 可从70 mm调到155 mm系统转动: 可手动旋转Z-测量系统: WLI/压电式底座的测量范围为100um测量转接器: 用于安装在气缸上的转接器滚动箱 : 记录所有系统组件,包括工业PC对仪器的控制 评估: MountainsMap影像地形镜头选项放大倍数 10x 20x 50x在平方微米的测量领域 1290x965 645x480 258x190NA 0,3 0,4 0,55z方向分辨率 <5 nm <5 nm <5 nmXY方向分辨率 1,9 µm 1,0 µm 0,7 µm选项 Cylanalyse 圆柱表面的分析评价
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