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特征概览:
等离子体频率900M Hz, 光波长范围:190-890 纳米
易更换等离子体组件,低的运行维护费
KF40或KF50 标准连接口
良好的探测精度最低至ppb级
宽工作压力范围:1乇至1个大气压,无需泵组
快速采样频率24赫兹
小巧,易安装
应用:
用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体检漏,气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测(Endpoint)。
Quantus HP100 高压气体光谱分析仪, Quantus HP100
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