SEM-拉曼系统

　　Renishaw公司的结构与化学成分分析仪(SCA)，将电子扫描显微镜和拉曼光谱这两种成熟的技术结合在一起，实现了一种强大的独创技术，即不必在不同仪器之间移动样品，就可对同一点样品的形貌、元素、化学成分、物理及电子学特性等进行分析。

　　应用示例

　　SCA在地质领域的应用说明 — 砂石

　　利用SEM-SCA研究苏格兰西南部Loch Torridon地区的一种砂石样本，鉴别组分材料及其状态。

　　功能

　　· 从SEM (SEI和BEI) 获得形貌和平均原子数

　　· 从EDS分析获得元素成分

　　· 从拉曼光谱获得化学成分和物质鉴定

　　· 从拉曼光谱获得物理结构

　　(晶体的及力学数据)

　　· 从阴级发光 (CL) 和光致发光 (PL) 获得电子及物理结构信息

　　SEM应用

　　包括：

　　· 材料科学

　　腐蚀研究、电子材料、高分子、复合材料

　　· 半导体

　　鉴别微粒污染物等

　　· 药品

　　涂层、药物填料和成形剂鉴别及化学相态的研究

　　· 刑侦科学

　　炸药、毒品、纤维、颜料的鉴定

　　优势

　　· 同时做扫描电镜 (SEM) 和拉曼光谱

　　用SEM可方便地确定感兴趣的区域。然后可以用拉曼光谱快速确切地鉴定这些区域。

　　· 来自相同样品位置的能谱 (EDS) 和白光成像

　　与SEM成像和拉曼光谱一样，能谱、逐点扫描成像及白光成像均可从相同样品位置获得。

　　· 阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 光谱

　　用于拉曼光谱收集的光学元件与光致发光 (PL) 和阴极射线发光 (CL) 光谱完全兼容。前者使用激光作为激发源，而后者用电子束。每种技术都能够揭示样品在电子学和物理学两方面的信息，而阴极射线发光对样品成分和残留应力的细微变化十分敏感。