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SCA连接SEM和光学光谱.pdf
SEM-SCA(结构与化学分析仪,用于扫描电子显微镜)允许:
用以下成像手段实现对空间变化的快速研究:
• 二级电子 (SE) 和背散射电子 (BE)
• 白光显微镜
• X射线成像
• CL整体成像
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inVia与多种仪器联用技术
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