发布时间：2023年02月

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磁控溅镀设备 FPD-PVD
随着 LCD 面板和制造所需玻璃的尺寸的增加, 制造设备也随着变得更大, 需要越来越大的设备投资. 上海伯东代理磁控溅镀设备 FPD-PVD 针对中小尺寸的需求开发串集的 PVD 设备, 拥有 4个单独的溅镀腔体, 让客户能任意搭配沉积的材料, 同时保有弹性和具有选择性的系统.


配置和优点
客制化基板尺寸最大为 550 x 650 mm2(玻璃)
薄膜均匀度小于±5％
稳定的温度控制, 可将基板加热到 400°C

选件
Cassette 传送站
基材电浆清洁
OES, RGA 或制程监控的额外备用端口

应用领域
TFT-LCD
太阳能电池
触碰屏氧化物, 氮化物和金属材料的研究

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上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途