赛默飞Meridian EX Semiconductor半导体故障隔离系统

发布时间：2023年10月

使用电子束探测进行半导体失效分析

Thermo Scientific Meridian EX 系统是一种基于电子束的创新解决方案，用于在高级逻辑设备中精确定位缺陷。它采用突破性的电子束技术，可以从设备的正面或背面探测复杂的布线网络。与光学方法相比分辨率提高了 10倍，确保了对最先进的半导体器件进行快速、准确和可靠的缺陷分析。

为什么 Meridian EX 是高级逻辑故障分析工作流程的关键要素

Meridian EX 是一种独特的电子束探测解决方案，用于高级逻辑故障分析。它解决了与功能尺寸和通过背面配电访问相关的挑战。

缺陷定位挑战

新的背面配电设计为半导体制造和设计带来了一个重要的拐点。由于激光无法穿透金属互连并以所需的精度进行探测，传统的光学故障定位不再可行。Meridian EX 系统利用有源电压对比（电子束）技术实现金属互连探测。由于先进的节点缺陷定位需要比激光器更精细的探针，因此 Meridian EX 系统提供 <20 nm 的分辨率，而基于激光的技术可实现 150 nm。

 光学探测。

电子束探测。

高速光束消隐

由于先进节点需要更严格的制造公差，确保一致的电气性能变得越来越具有挑战性。由于设计问题或工艺变化，设备可能无法达到预期的性能水平，或者它们可能会遭受“软”故障，这些故障只有在“高速”测试时才会变得明显。Meridian EX 系统配备高速 2 GHz 电子束消隐器和先进的脉冲电子设备，可暴露硬缺陷和软缺陷，便于对最先进的逻辑器件进行精确的缺陷分析。

Meridian EX 生成以特定频率运行的高亮门

Meridian EX 通过“高速”晶体管探测验证晶体管特性

故障定位工作流

Meridian EX 系统独特地满足了多代高级逻辑故障分析的需求。其行业标准的软件界面确保了用户友好的操作，并与现有的实验室工作流程无缝集成，例如用于探针前准备和探针后去层的 Thermo Scientific FIB-SEM 或 DualBeam 解决方案。

Meridian EX 系统技术亮点

• 超高分辨率、场发射 Thermo Scientific Elstar SEM column，具有：

• 集成式快速光束消隐机

• 浸没式磁性物镜

• 电子电压成像和探测 （EVx） 涵盖广泛的工作频率范围，以可视化晶体管活动，包括相位图像

• 载物台 XY 行程：+/-77 mm

• 载物台承载能力： 1.5 kg

• 负载板尺寸：9 x 9“（实际尺寸可能因安装方案和连接器而异。

赛默飞Meridian EX Semiconductor半导体故障隔离系统信息由赛默飞电子显微镜（原FEI）为您提供，如您想了解更多关于赛默飞Meridian EX Semiconductor半导体故障隔离系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途