KSI 9300系列隔振平台

9300系列隔振平台设备

特点/优势

l  空气悬挂垂直隔振Air suspension for vertical isolation

l  钟摆式悬挂增强水平隔振

l  优秀的阻尼

l  刚性阻尼平台

l  相比设备名义高度增高4.5"

l  自动水平校准

l  超低固有频率

l  许多标准仪器的预制设备

l  客户可自定义形状，图样和切口

l  提供灵活布局

BaseMate系列9300隔振平台是为较大型设备提供灵活多样的隔振选择而设计的。通过16个经过时间考验的设计模块，可以根据客户的应用需要找到zei完美的配置方案。BaseMate平台系统相比于其他地基平台系统具有无法比拟的有时候。

BaseMate设计特点是通过一个二级平台摆锤专利技术和空气耦合系统结合，提供全方位的隔振控制。第一平台，是一个低刚度/高性能主动空气水平支持系统，具有极低的垂直固有频率，已达到zei大化垂直隔振。第二平台使用三线摆组合装置与空气耦合系统联动使用，提供稳定的隔振源，达到极低的水平固有频率。二者结合黏滞阻尼，zei大化隔振效率。由于BaseMate的摆锤组合装置去掉了其他厂家都采用的边角垂直提升，其产生的共振被消除，所以能够立即达到zei好的隔振效果。

为了方便和稳定性考虑，自动水平仪和高度控制合并在一起。标准的BaseMate平台是一个3”厚的刚性阻尼环氧复合“三明治”，其中1/2英寸厚的上下两个钢板，中间夹着2英寸厚的具有我们独家的技术的约束阻尼垫层。

刚性可以与3英寸厚的固体钢板相比较，但是重量只是钢板的1/3，同时阻尼效果更优秀。平台的结构增强了非刚性较大仪器的基底，降低重心高度，以增强稳定性。更大尺寸的平台（7英尺以上）和其他设计的平台，可以提供更厚的平台（4英寸到6英寸）可选非磁性材料装配和Class10级无尘清洁室安装。标准的毛载重可达25,000lbs（11,330kg），能使BaseMate完美的适配大多数仪器的解决方案。

典型应用

 SEM，TEM， CMM，光刻机，掩模对准系统等设备

配置

三维

性能

注：典型的性能表现是微扰动下

详情请咨询：010-82782023/13810255993

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途