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KSI 9300系列隔振平台

KSI 9300系列隔振平台
  • 9300
  • 进口
  • KSI
  • 美国

    9300系列隔振平台设备

    特点/优势

    l  空气悬挂垂直隔振Air suspension for vertical isolation

    l  钟摆式悬挂增强水平隔振

    l  优秀的阻尼

    l  刚性阻尼平台

    l  相比设备名义高度增高4.5"

    l  自动水平校准

    l  超低固有频率

    l  许多标准仪器的预制设备

    l  客户可自定义形状,图样和切口

    l  提供灵活布局


    BaseMate系列9300隔振平台是为较大型设备提供灵活多样的隔振选择而设计的。通过16个经过时间考验的设计模块,可以根据客户的应用需要找到最完美的配置方案。BaseMate平台系统相比于其他地基平台系统具有无法比拟的有时候。


    BaseMate设计特点是通过一个二级平台摆锤专利技术和空气耦合系统结合,提供全方位的隔振控制。第一平台,是一个低刚度/高性能主动空气水平支持系统,具有极低的垂直固有频率,已达到最大化垂直隔振。第二平台使用三线摆组合装置与空气耦合系统联动使用,提供稳定的隔振源,达到极低的水平固有频率。二者结合黏滞阻尼,最大化隔振效率。由于BaseMate的摆锤组合装置去掉了其他厂家都采用的边角垂直提升,其产生的共振被消除,所以能够立即达到最好的隔振效果。

    为了方便和稳定性考虑,自动水平仪和高度控制合并在一起。标准的BaseMate平台是一个3”厚的刚性阻尼环氧复合“三明治”,其中1/2英寸厚的上下两个钢板,中间夹着2英寸厚的具有我们独家的技术的约束阻尼垫层。

    刚性可以与3英寸厚的固体钢板相比较,但是重量只是钢板的1/3,同时阻尼效果更优秀。平台的结构增强了非刚性较大仪器的基底,降低重心高度,以增强稳定性。更大尺寸的平台(7英尺以上)和其他设计的平台,可以提供更厚的平台(4英寸到6英寸)可选非磁性材料装配和Class10级无尘清洁室安装。标准的毛载重可达25,000lbs11,330kg),能使BaseMate完美的适配大多数仪器的解决方案。

    典型应用

     SEMTEM CMM,光刻机,掩模对准系统等设备

    配置

    三维

     

    性能

    Min. Load   @ 20 psi1.36标准大气压)




    垂直固有频率

    1.6 Hz

    隔振效率@ 5 Hz

    85%

    隔振效率@ 10 Hz

    97%



    水平固有频率

    1.5 Hz

    隔振效率@ 5 Hz

    80%

    隔振效率@ 10 Hz

    92%



    Max. Load   @ 80 psi5.44标准大气压)




    垂直固有频率

    1.3 Hz

    隔振效率@ 5 Hz

    90%

    隔振效率@ 10 Hz

    98%



    水平固有频率

    0.8 Hz

    隔振效率@ 5 Hz

    90%

    隔振效率@ 10 Hz

    96%



    Finish


    Standard

    Black Smooth Polyurethane

    Class 10

    White Epoxy Powder Coat Stainless Steel

    注:典型的性能表现是微扰动下