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KSI 9300系列隔振平台

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参考报价: 面议 型号: 9300
品牌: KSI 产地属性: 暂无
关注度: 暂无 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地: 美国
平台不平度暂无平台粗糙度暂无
固有频率暂无振幅暂无
水平精度暂无工作压力暂无

9300系列隔振平台设备

特点/优势

l  空气悬挂垂直隔振Air suspension for vertical isolation

l  钟摆式悬挂增强水平隔振

l  优秀的阻尼

l  刚性阻尼平台

l  相比设备名义高度增高4.5"

l  自动水平校准

l  超低固有频率

l  许多标准仪器的预制设备

l  客户可自定义形状,图样和切口

l  提供灵活布局


BaseMate系列9300隔振平台是为较大型设备提供灵活多样的隔振选择而设计的。通过16个经过时间考验的设计模块,可以根据客户的应用需要找到最完美的配置方案。BaseMate平台系统相比于其他地基平台系统具有无法比拟的有时候。


BaseMate设计特点是通过一个二级平台摆锤专利技术和空气耦合系统结合,提供全方位的隔振控制。第一平台,是一个低刚度/高性能主动空气水平支持系统,具有极低的垂直固有频率,已达到最大化垂直隔振。第二平台使用三线摆组合装置与空气耦合系统联动使用,提供稳定的隔振源,达到极低的水平固有频率。二者结合黏滞阻尼,最大化隔振效率。由于BaseMate的摆锤组合装置去掉了其他厂家都采用的边角垂直提升,其产生的共振被消除,所以能够立即达到最好的隔振效果。

为了方便和稳定性考虑,自动水平仪和高度控制合并在一起。标准的BaseMate平台是一个3”厚的刚性阻尼环氧复合“三明治”,其中1/2英寸厚的上下两个钢板,中间夹着2英寸厚的具有我们独家的技术的约束阻尼垫层。

刚性可以与3英寸厚的固体钢板相比较,但是重量只是钢板的1/3,同时阻尼效果更优秀。平台的结构增强了非刚性较大仪器的基底,降低重心高度,以增强稳定性。更大尺寸的平台(7英尺以上)和其他设计的平台,可以提供更厚的平台(4英寸到6英寸)可选非磁性材料装配和Class10级无尘清洁室安装。标准的毛载重可达25,000lbs11,330kg),能使BaseMate完美的适配大多数仪器的解决方案。

典型应用

 SEMTEM CMM,光刻机,掩模对准系统等设备

配置

三维

 

性能

Min. Load   @ 20 psi1.36标准大气压)




垂直固有频率

1.6 Hz

隔振效率@ 5 Hz

85%

隔振效率@ 10 Hz

97%



水平固有频率

1.5 Hz

隔振效率@ 5 Hz

80%

隔振效率@ 10 Hz

92%



Max. Load   @ 80 psi5.44标准大气压)




垂直固有频率

1.3 Hz

隔振效率@ 5 Hz

90%

隔振效率@ 10 Hz

98%



水平固有频率

0.8 Hz

隔振效率@ 5 Hz

90%

隔振效率@ 10 Hz

96%



Finish


Standard

Black Smooth Polyurethane

Class 10

White Epoxy Powder Coat Stainless Steel

注:典型的性能表现是微扰动下


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