汞探针

汞探针(Hg Probe)及载流子浓度分布测量仪(Miller Profiler) 

1) 汞探针 Hg Probe
- 2017为导电衬底片用
汞芯大小：0.64mm(0.025”)；1.27mm(0.05”)；1.91mm(0.075”)；2.29mm(0.09”)；
- 2017B为半绝缘衬底片用
汞芯大小：0.46mm(0.018”)；0.64mm(0.025”)；

汞探针特点：
• Permanent machined orifice plate  (no mylar replacement)
• Minimal series resistance via innovative Schottky/return dot configuration
• Precision vacuum control
• Unique vacuum Hg-pull/sample hold-down configuration improves repeatability of the mercury Schottky

2) 米勒剖面浓度分析仪 Miller Profiler
- 应用：
• Bulk, epitaxial and ion implanted wafers -
• Epitaxial and implanted GaAs wafers -
• Process control wafers -
• Special sharp peak structures 

- 测量参数 
• Carrier density vs depth data

- 仪器特点
• On-screen real time plot (N vs X) -
• Graphical and columnar data representations -
• Keyboard selectable BIAS and DEPTH modes -
• Menu screen entries for all system parameters -
• Integrated calibration routine -
• Easy-to-use TRAP detection feature

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途