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OPTON的微观世界|第15期 氩离子抛光制样经验分享

发布时间: 2017-07-13 10:31 来源:北京欧波同光学技术有限公司
概  


欧波同材料分析研究中心分析测试业务于年初正式上线,受到业内广泛关注。近期中心收到很多客户的咨询,询问一些特殊样品的制样方法或解决方案。我们根据客户咨询和反馈,整理了相关的案例分享给大家,希望能给大家点思路。


一、微纳米颗粒 (针对200μm以下样品) 


应用范围:微纳米材料内部结构分析
例    如:锂电池阳极材料、微纳米颗粒


颗粒类的样品多数利用扫描电镜检测形貌、粒度统计、能谱并做一些长度测量,但是一旦涉及内部结构观察普通制样方式很难达到要求。


制样方式缺点
研钵研磨/刀片压碎只能看到断面的情况,而且成功率不高,电镜观察需要费时寻找
镶嵌包埋需要机械抛光,容易脱落;耗时;需考虑镶嵌料对样品影响


举例来讲,图1是客户要求观察颗粒表面和断面形貌,研钵研磨后,结果并不理想,视野内可见大量碎裂颗粒,且断面情况各异更无法进行测量等工作。


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图  1


图2是用Gatan Ilion II设备抛光后结果,可见视野内颗粒全部切开,截面平整,易于观察测量;图3为局部放大,颗粒内部结构一览无余。


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图  2


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图  3


二、多层复合材料/镀层/高分子薄膜


应用范围:分层材料、薄膜或其他柔性材料
例    如:锂电池隔膜、镀层等


多层复合材料其实在我们生活中应用极为广泛,比如各种触摸屏。这类材料主要看截面分层情况,但是由于其柔性大,普通方式比如剪切、液氮脆断等都会导致分层扭曲、断面不齐整等问题,影响后续用电镜进行分层测量。举个例子-样品为电池极板(图4、图5):


图4是剪刀剪切后的电镜结果,可以看到由于剪切力的影响,层次不够分明,无法进行精确测量,无法提供有效的信息。


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图  4


图5为Gatan Ilion II抛光后结果,层次清晰,可进行精确测量。


5.jpg

图  5


三、电子元器件


应用范围:各类微元器件


电子元器件由于其越来越微小、越来越复杂,其失效时很难定位,也很难用普通手段看清其内部结构(图6)。图中结果用Ilion II 进行处理,局部放大图片能够看到几十个nm结构,后续进行分析带来极大便利。


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图  6


我们再来看一例(图7)


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图  7


红框1局部放大,可见有10层结构


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图  8


红框2局部放大,一目了然


9.jpg

图  9


后  记


以上是小编本期分享的内容,希望对大家有帮助,最后是广告时间。


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下期有什么精彩内容呢?敬请期待吧!



标签:OPTON,微观世界,氩离子抛光,制样经验,欧波同
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