创新设计
完美全面的清洗解决方案。Evactron CombiClean 清洗系统为SEM/TEM/FIB/其他分
析设备提供了桌面式清洗平台，帮助客户清洗样品以及电镜部件，去除其存在的碳
污染问题。同时也提供了外置等离子发生器用于电镜腔体清洗方案。系统操作简单
，检测器可以智能控制多个等离子发生器单元，控制器自由切换可以通过不同发生
器的工作模式。系统支持旋叶机械泵，从而防止油污染。提供干燥氮气保护环境，
保证经等离子清洗过后的样品可以长期保存，此时不影响其他等离子发生器的使用。
应用
Evactron CombiClean 系统可以提供外置式等离子发生器，用于扫描电镜、透射电
镜和双束电镜，同时也可以清洗透射样品杆以及气塞。结合使用Evactron TEM Wand
透射电镜等离子清洗杆，可以清洗透射电镜样品、部件以及真空腔内部。
系统特性
系统通过内部的处理器，由MicroPirani 软件对于真空度以及功率进行智能控制。
处理器可以对等离子发生器进行定时清洗控制以及氮气保护循环。系统保留操作日
志。操作可以通过前置面板或者电脑完成。
特点介绍
等离子漂洗技术： 安全清除碳氢化合物污染同时不破坏敏感的材料，可以使用在电子显微镜内部部件（如X-ray探测窗口）
每星期一次十分钟的清洗保证整套系统的清洁度
系统问世以来已有1100客户在使用我们安全有效的系统
一体式设计： 结合了Evactron25控制器及真空室的清洁解决方案
结合了Evactron电子显微镜原位清洁和桌面式样品以及零件的清洗
多功能便携设计
多种气体选择： 使用成本低，可以使用空气，也可以使用氢气、氧气、氩气等常见气体
也可用其他非腐蚀性气体，包括对敏感样品也可以进行刻蚀
氮气净化： 防止油气回流，也可以兼容旋叶泵
允许在清洗室储存样品，防止样品被二次污染
内部和外部等离子发生源： 使用内部等离子发生源清洗电镜部件，TEM样品杆和样品
可以使用外部等离子源清洗SEM, FIB和TEM或者其他分析设备的腔体内碳氢污染物
简单使用开关就可以切换内外等离子发生源
多种TEM样品杆兼容口： 允许同时清理两个透射电镜样品和样品杆，避免二次污染或损坏样品
两个水平的TEM样品杆清洁口 (清洁口型号可选)
上部顶加载方式：扫描电镜样品可以简易安置在高度可调的内部平台上
Overall Dimensions: H, W, D – 8.25" x 25.7" x 10.6", (210 mm x 652 mm x 270 mm) • RF
Power: 0-30 Watts at 13.56 MHz • Status LEDs: Power, RF On, Plasma ON, Faults, Local
and Remote • Front Panel Display for operating conditions and status • Encoder Knob and
Enable/Disable button for Front Panel Control Plasma Radical Source
Selection Switch • Computer control with RS 232 I/O, DB9 Connector, Null Model
Cable, 56k Baud GUI with Event Log • C Communication Library for software integration •
Internal Plasma Radical Source (PRS) with RF Match • MKS MicroPirani Transducer for
vacuum pressure measurement and vacuum interlock • Optional remote
computer interlock • Electrically adjusted metering valve for flow/pressure adjustment • RF
power interlock prevents starting when out of vacuum pressure range • Fault display and
readout • Nitrogen purge feature • 100-240VAC 50/60 Hz input
等离子清洗仪信息由杭州葛兰帕科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
