日本电子株式会社推出最新场发射透射电子显微镜

　　摘要

　　2006年4月17日，JEOL Ltd.总裁Yoshiyasu Harada宣布，日本电子在全世界同步推出最新型号的300kV场发射透射电子显微镜——JEM-3100...

　　2006年4月17日，JEOL Ltd.总裁Yoshiyasu Harada宣布，日本电子在全世界同步推出最新型号的300kV场发射透射电子显微镜——JEM-3100F。

　　JEM-3100F分辨率达到0.17nm(300kV，UHR)，是同档次世界上最先进的透射电子显微镜，尤其在纳米材料测试方面，具有非常高的效能。它的控制系统采用了最新的数字技术，使得操作更为简便。该款产品同样适合于过程测试，可以对由聚焦离子束切割的相对较厚的半导体器件进行高通量检测。